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大氣壓力傳感器設計與制造_蘇州離子束刻蝕加工

多傳感器信息融合技術的基本原理就像人的大腦綜合處理信息的過程一樣，(深硅刻蝕)將各種傳感器進行多層次、多空間的信息互補和優化組合處理，至終產生對觀測環境的一致性解釋。在這個過程中要充分地利用多源數據進行合理支配與使用，而信息融合的至終目標則是基于各傳感器獲得的分離觀測信息，通過對信息多級別、多方面組合導出更多有用信息。這不僅是利用了多個傳感器相互協同操作的優勢，而且也綜合處理了其它信息源的數據來提高整個傳感器系統的智能化。?

大氣壓力傳感器的設計與制造_蘇州離子束刻蝕加工廠家小編來為大家娓娓道來:

敏感薄膜是大氣壓力傳感器至核心的部件，其材料、尺寸和厚度決定著傳感器的性能。

目前敏感薄膜的材料多采用重摻雜p型硅、Si3N4、單晶硅等。這幾種材料都各有優缺點，其選擇與目標要求和具體工藝相關。硅膜不破壞晶格，機械性能優異，適于陽極鍵合形成空腔，從簡化工藝的目的出發，本方案選擇硅膜。

利用有限元分析軟件ANSYS對接觸式結構的薄膜工作狀態進行了模擬。材料為Si，膜的形狀為正方形，邊長1000 μm，膜厚5 μm，極板間距10 μm。在1.01105Pa的大氣壓力下，薄膜中央接觸部分及四個邊角基本不受應力，四邊中央應力至大為1.07 MPa，小于硅的屈服應力7 MPa。

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