亚洲A∨无码一区二区三区_久久亚洲综合色一区二区三区_一区二区三区免费电影_亚洲AV日韩AV天堂一区二区三区

修改這篇文章 : 深硅刻蝕方法您了解嗎——蘇州深硅刻蝕廠家

推廣信息

分類目錄: *

信息類型: *

公司庫(kù)品牌庫(kù)產(chǎn)品庫(kù)供應(yīng)信息求購(gòu)信息服務(wù)項(xiàng)目解決方案業(yè)界資訊新聞事件展會(huì)信息名詞解釋知識(shí)庫(kù)文章招聘信息網(wǎng)址連接圖片庫(kù)資料下載創(chuàng)業(yè)加盟招商合作促銷(xiāo)活動(dòng)其它信息

標(biāo)題: *

詳細(xì)內(nèi)容: *

硅RIE刻蝕的基本原理含有F, Cl, Br, I單質(zhì)或者化合物氣體均可以作為硅的刻蝕劑,（離子束刻蝕）添加一些輔力氣體有助于提高它的選擇性, 常用刻蝕劑組合如: CF4/O2, CF2CL2, CF3CL，SF6rO2/CL2，CCL4, NF3, CCL4, CHF3等.不管上述哪一種化合物作為刻蝕劑，在等離子體中都會(huì)存在大量的鹵素原子，它們以化學(xué)吸附方式與硅表面結(jié)合，在沒(méi)有外力作用的情況下，反應(yīng)生成的產(chǎn)物分離的速率很慢，特別是CI,Br,I原子更是如此，構(gòu)成了Si與其它活性成份進(jìn)--步接觸的障礙，但是，當(dāng)它們得到電子之后，就會(huì) 與Si 一起離開(kāi)表面，所以，重?fù)诫s的N型硅會(huì)顯著增加自發(fā)反應(yīng)的速度。這種反應(yīng)是熱力學(xué)上自發(fā)進(jìn)行的反應(yīng)，只要使它們相遇便能夠促成反應(yīng)，因此它是各向同性的，從熱力學(xué)觀點(diǎn)出發(fā)，按照F, Cl,Br,I順序，它們與Si自發(fā)反應(yīng)的能力逐漸減弱，I并不常用，可能是它的蒸汽壓比較低，與硅的化合物不那么穩(wěn)定。 刻蝕方法——蘇州深硅刻蝕廠家小編來(lái)為大家娓娓道來(lái) ： 刻蝕至簡(jiǎn)單至常用分類是：干法刻蝕和濕法刻蝕。顯而易見(jiàn)，它們的區(qū)別就在于濕法使用溶劑或流質(zhì)來(lái)進(jìn)行刻蝕。 濕法刻蝕是一個(gè)純粹的化學(xué)反應(yīng)過(guò)程，是指利用流質(zhì)與預(yù)刻蝕材料之間的化學(xué)反應(yīng)來(lái)去除未被掩蔽膜材料掩蔽的部分而達(dá)到刻蝕目的。其特點(diǎn)是： 濕法刻蝕在半導(dǎo)體工藝中有著廣泛應(yīng)用：磨片、拋光、清洗、腐蝕 優(yōu)點(diǎn)是選擇性好、重復(fù)性好、生產(chǎn)效率高、設(shè)備簡(jiǎn)單、成本低 缺點(diǎn)是：鉆刻嚴(yán)重、對(duì)圖形的控制性較差，不能用于小的特征尺寸；會(huì)產(chǎn)生大量的化學(xué)廢液 干法刻蝕種類很多，包括光揮發(fā)、氣相腐蝕、等離子體腐蝕等。按照被刻蝕的材料類型來(lái)劃分，干法刻蝕主要分成三種：金屬刻蝕、介質(zhì)刻蝕和硅刻蝕 。介質(zhì)刻蝕是用于介質(zhì)材料的刻蝕，如二氧化硅。干法刻蝕優(yōu)點(diǎn)是：各向異域好，選擇比高，可控性、靈活性、重復(fù)性好，細(xì)線條操作安全，易實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，無(wú)化學(xué)廢液，處理過(guò)程未引入污染，潔凈度高。缺點(diǎn)是：成本高，設(shè)備復(fù)雜。干法刻蝕主要形式有純化學(xué)過(guò)程（如阻蔽式，下游式，桶式），純物理過(guò)程（如離子銑），物理化學(xué)過(guò)程，常用的有反應(yīng)離子刻蝕RIE，離子束輔力自由基刻蝕ICP等 [3] 。 干法刻蝕方式很多，一般有：濺射與離子束銑蝕， 等離子刻蝕（Plasma Etching），高壓等離子刻蝕，高密度等離子體（HDP）刻蝕，反應(yīng)離子刻蝕（RIE）。另外，化學(xué)機(jī)械拋光CMP，剝離技術(shù)等等也可看成是廣義刻蝕的一些技術(shù)。 有圖形的光刻膠層在刻蝕中不受到腐蝕源顯著的侵蝕，這層掩蔽膜用來(lái)在刻蝕中保護(hù)硅片上的特殊區(qū)域而選擇性地刻蝕掉未被光刻膠保護(hù)地區(qū)域。 編輯：MEMS加工? http://www.szjtnano.com/? ?

上傳圖片:

* (jpg , gif , png) format

聯(lián)系人信息

姓名: *

電子信箱: *

手機(jī):

公司名稱:

聯(lián)系電話:

詳細(xì)地址:

郵政編碼:

網(wǎng)址URL:

其他

關(guān)鍵詞:

有效期:

* 天

管理密碼:*

* 刪除/修改

更換密碼:

* 如有必要，可重新設(shè)置新的管理密碼

刪除此信息

*